اتمیزه کردن واکنش کوره احیای پلی سیلیکون چیست؟

چیستRواکنشAتومیزه کردنPاولیسیلیکونRآموزش و پرورشFاورنس

کوره احیا پلی سیلیکون تجهیزات اصلی برای تولید پلی سیلیکون است و اتمیزه شدن واکنش کوره احیا پلی سیلیکون به واکنش ترک خوردگی حرارتی کلروسیلان در کوره احیا به دلیل عمل دمای بالا اشاره دارد که منجر به تولید پودر سیلیس ریز می شود. یک غبار در فضای فاز گاز در کوره تشکیل می دهد که به اصطلاح پدیده اتمیزاسیون است. اگر کنترل نشود، این اتمیزه شدن می‌تواند منجر به ایجاد ذرات نامنظم یا لایه‌های درونی داخلی روی سطح میله‌های پلی سیلیکونی شود که بر کیفیت محصول تأثیر می‌گذارد.

پس از وقوع پدیده اتمیزاسیون، معمولاً تغییرات پارامتر وجود دارد:

· دمای گاز خروجی کاهش به سرعت افزایش می یابد.

· کاهش ولتاژ به سرعت کاهش می یابد.

· قدرت واکنش کاهش نیز به سرعت کاهش می یابد

· دمای آب برگشتی کوره افزایش می یابد.

دلایل زیادی برای اتمیزه شدن در کوره احیا پلی سیلیکون وجود دارد، از جمله، اما نه محدود به دمای سطح بالای میله پلی سیلیکون در کوره احیا، جریان هیدروژن ناکافی مواد خام، جریان ناکافی کل مواد خام، یا محتوای نامناسب دی کلرید سیلیکون. اقداماتی که می توان برای کنترل اتمیزاسیون انجام داد شامل کاهش دمای سطح میله، افزایش جریان هیدروژن، افزایش جریان کل مواد اولیه یا کنترل محتوای دی کلرو دی هیدروژن سیلان است.

سرعت جریان کل ماده ناکافی است یا محتوای دی کلرودی هیدروژن سیلیکون نامناسب است. اقداماتی که می توان برای کنترل اتمیزاسیون انجام داد شامل کاهش دمای سطح میله، افزایش جریان هیدروژن، افزایش جریان کل مواد اولیه یا کنترل محتوای دی کلرودیهی دروژن سیلان است.

علاوه بر این، با تعمیق تحقیقات در مورد کنترل بهینه کوره احیا، مشخص شد که کوره احیاء می تواند در حالت های مختلف اتمیزه شدن، اثر کاهش مصرف برق داشته باشد. برای دستیابی به درجه خاصی از عملیات لبه کارت مرزی اتمیزه کردن، که نه تنها می تواند مصرف برق را کاهش دهد، بلکه کیفیت محصول را نیز تضمین می کند. با این حال، به دلیل عدم وجود روش‌های تشخیص مؤثر برای درجه اتمیزه‌سازی، راهبردهای کنترل موجود برای دستیابی به نتایج رضایت‌بخش دشوار است.

به منظور حل این مشکل، سیستم و روشی برای تشخیص درجه اتمیزه شدن واکنش احیای پلی سیلیکون پیشنهاد شده است که شامل دستگاه تشخیص گاز خروجی و کنترل کننده مرکزی می باشد. با تشخیص تغییر محتوای دوده سیلیس در گاز خروجی، سیستم به صورت دیجیتالی درجه اتمیزه شدن در کوره را در زمان واقعی نظارت می کند و اپراتور می تواند پارامترهای کوره احیا را به موقع با توجه به نتایج تشخیص تنظیم کند تا به کنترل مطلوب دست یابد. .

علاوه بر این، روشی برای تشخیص اتمیزاسیون در کوره احیا پلی سیلیکون پیشنهاد شده است که با نصب یک آشکارساز گرد و غبار بر روی خط لوله خروجی گاز خروجی، مقدار غلظت گرد و غبار را اندازه گیری می کند و محدوده و واریانس را برای قضاوت در مورد درجه اتمی شدن در کوره محاسبه می کند. تا اپراتور را برای انجام تنظیمات راهنمایی کند. استفاده از این فناوری ها به بهبود کیفیت کنترل کوره احیا، کاهش سختی کار و تضمین کیفیت محصولات پلی سیلیکونی کمک می کند.