نوار نقاله پیش خلاء (Loadlock) و بدنه اصلی بستر انتقال

نوار نقاله پیش خلاء محفظه انتقال اتمسفر و خلاء است که برای جداسازی محفظه واکنش از تماس مستقیم با اتمسفر بیرونی استفاده می شود تا از تمیزی محفظه واکنش اطمینان حاصل شود و احتمال آلودگی واکنش کاهش یابد. محفظه - اتاق. هنگامی که ماژول جلویی نیاز به برداشتن و قرار دادن ویفر در نوار نقاله پیش خلاء دارد، باید با نیتروژن پر شود، فشار هوا در حفره به حالت اتمسفر تنظیم می شود و سپس شیر انتقال پیش خلاء نوار نقاله خلاء در سمت ماژول جلویی باز می شود تا ویفر را انتخاب و قرار دهید. هنگام برداشتن و قرار دادن ویفرها از محفظه انتقال (بخشی از سکوی انتقال) به بدنه انتقال پیش خلاء، لازم است از پمپ خلاء برای پمپ کردن گاز در بدنه انتقال پیش خلاء استفاده شود، با خلاء تنظیم شود. حالت دهید، و سپس شیر انتقال را در طرف دیگر بدنه انتقال پیش خلاء باز کنید و سپس ویفر را انتخاب و جاسازی کنید.

مراحل خاص برای انتقال ویفر در سیستم انتقال به شرح زیر است: همه درها بسته می شوند← پورت بارگیری ویفر باز می شود، درب کاست ویفر باز می شود→ دستکاری کننده اتمسفر ویفر را از قایق ویفر کاست می گیرد. → ویفر روی تراز قرار می گیرد → موقعیت ویفر کالیبره شده است → گاز نیتروژن در LoadLockA پر می شود → درب LoadLockA باز می شود → دستکاری کننده اتمسفر ویفر را در LoadLockA قرار می دهد → درب LoadLockA را می بندد → LoadLockA جاروبرقی → درب محفظه واکنش را باز می کند → دستکاری کننده خالی ویفر را در محفظه واکنش قرار می دهد → واکنش انجام می شود → پس از اتمام واکنش، محفظه واکنش جارو می شود → درب محفظه انتقال باز می شود → دستکاری خلاء ویفر را به محفظه انتقال می برد → درب محفظه واکنش را می بندد → در LoadLockB را باز می کند → دستکاری کننده خلاء ویفر را به LoadLockB می برد → درب LoadLockB را می بندد → LoadLockB پر از نیتروژن است → درب LoadLockB را باز می کند. دستکاری کننده اتمسفر ویفر را از LoadLockB خارج می کند → LoadLockB را می بندد