ساختار اصلی تجهیزات اچ

 

ساختار تجهیزات اچینگ جریان اصلی را می توان به دو بخش تقسیم کرد: بدنه اصلی و تجهیزات کمکی. در این میان، بدنه اصلی تجهیزات اچینگ شامل EFEM (انتهای جلوی تجهیزات)، TM (ماژول انتقال)، PM (ماژول فرآیند) و سه ماژول است. ماژول EFEM عمدتاً مسئول بارگیری ویفرها از تجهیزات جابجایی مختلف (شامل ویفر لودرها، روبات های جابجایی و جرثقیل های سقفی) در کارخانه نیمه هادی در تجهیزات اچ است. ماژول TM عمدتاً مسئول انتقال ویفرها در داخل تجهیزات اچینگ است. PM ماژولی است که در واقع ویفر را اچ می کند و واکنش های فیزیکوشیمیایی مربوطه رخ می دهد. عملکرد تجهیزات کمکی ارائه پشتیبانی تضمینی برای سه ماژول فوق است و طرح نسبتاً مستقل از بدنه اصلی دستگاه است.

با افزایش تقاضا برای ظرفیت تولید یک تجهیزات اچینگ در تولید مدار مجتمع، تعداد حفره های واکنش یک دستگاه اچینگ از کمتر به بیشتر روند نشان می دهد. در دهه 1990، توکیو الکترون برای اولین بار سری Unity را با راکتورهای متعدد روی یک پلت فرم واحد، Telius، اولین ماشین جهان با ساختار محفظه موازی، و تاکتراها با حفره های 6/8 را در دهه 2010 راه اندازی کرد. جدیدترین سری اپیزود توکیو الکترون را می توان تا 12 حفره مجهز کرد که کارایی فضایی تجهیزات اچ را تا حد زیادی بهبود می بخشد و فضای بیشتری را برای کارخانه ها برای گسترش تولید باقی می گذارد.

تجهیزات اچینگ با راکتورهای اچینگ متعدد برای فاب ها برای افزایش ظرفیت تولید ضروری است. زیرا هر چه تعداد محفظه ها در یک دستگاه بیشتر باشد، به طور متوسط ​​فضای یک اتاقک کوچکتر است. تعمیر و نگهداری کارخانه تصفیه فاب مستلزم هزینه های زیادی است، کاهش فضای اشغال شده توسط یک دستگاه، افزایش موثر ظرفیت تولید ویفر کارخانه تصفیه در واحد سطح و کاهش هزینه های استهلاک و نگهداری فاب اختصاص داده شده به یک واحد. ویفر سرعت واکنش کندتر است و خروجی ویفر در واحد زمان کمتر از ویفر (ویفر در ساعت) (تجهیزات اچ دی الکتریک) است که تمایل بیشتری به اتخاذ ساختار فوق العاده چند حفره دارد. با این حال، افزایش تعداد اتاق‌های PM تقاضاهای جدیدی را بر روی فرآیند بارگذاری و حمل و نقل ماژول جلویی EFEM و ماژول حمل و نقل TM ایجاد می‌کند.