چه پیش درمانی برای آبکاری ویفر لازم است؟

 

هدف اصلی پردازش آبکاری ویفر

ناخالصی ها را بردارید ، ماده آلی ، لایه اکسید ، چسب باقیمانده و سایر آلودگی ها را بردارید

سطح را فعال می کند ، هدایت لایه بذر را تقویت می کند و باعث کاهش مس می شود

قابلیت خیس شدن را بهبود می بخشد ، از حلق آویز حباب های هوا در چاه ها/سطوح جلوگیری می کند و اجازه می دهد تا مایعات پر شوند

0020-33806 DPS اتاق فوقانی + پلی

درمان قبل از آبکاری چیست؟

به عنوان مثال مس الکتروپل شده را بگیرید

Ashing ، Plasma Ashing {{0} function عملکرد: باقیمانده PR را از پایین سوراخ آبکاری جدا کنید تا از "تماس ضعیف" جلوگیری شود ، و از طرف دیگر ، لایه بذر را روی سطح ویفر اصلاح کنید تا چسبندگی بین لایه آبکاری و لایه بذر تقویت شود

تمیز کردن مرطوب ، که در آن ویفر در اسید هیدروکلریک غلیظ یا رقیق غوطه ور می شود تا لایه اکسید مس . مس کمی در هوا اکسیده شود ، که چسبندگی آبکاری را افزایش می دهد و از نشت. جلوگیری می کند

در یک محیط اتاق تمیز ، سطح ویفر به طور کلی لکه های روغن ندارد ، بنابراین انجام پیش تصفیه لکه های روغن . آسان است

 

پایان