سر دوش PECVD چه می کند؟

0020-30797 سر دوش صفحه سوراخدار

0021-35869 سر دوش

 

سر دوش در فرآیند PECVD چه می کند?

همانطور که در شکل بالا نشان داده شده است، سر دوش که به عنوان سر آبپاش، سر دوش و غیره نیز ترجمه می شود، معمولاً به خوبی در قسمت بالایی منطقه واکنش قرار می گیرد و به عنوان ورودی گاز عمل می کند و گاز واکنش را به طور یکنواخت از طریق سوراخ های کوچک به داخل محفظه تزریق می کند. روی سطح آن البته، این تنها وظیفه توزیع گاز نیست، برخی برای استفاده به عنوان بخشی از الکترود طراحی شده اند.
عملکرد از سر دوش؟

سطح سر دوش با منافذ متراکم پوشانده شده است و پس از جریان یافتن گاز واکنش، به طور مساوی به چندین قسمت تقسیم شده و با سرعت جریان ثابت به بالای ویفر منتقل می شود، به طوری که گاز واکنش به طور یکنواخت کل را پوشش می دهد. سطح ویفر برای تولید یک پوشش یکنواخت تر. هنگامی که سر دوش بخشی از الکترود است، منبع تغذیه RF یک میدان الکتریکی یکنواخت روی سطح آن ایجاد می کند که قادر به تشکیل پلاسمای همگن است.

برای ساخت سر دوش معمولا از چه فلزی استفاده می شود؟

رایج ترین آن آلومینیوم است که رسانایی حرارتی و مقاومت بالایی در برابر خوردگی دارد. همچنین می توان از کوارتز یا سرامیک برای ساخت سر دوش استفاده کرد.