انواع اچینگ در فرآیند تولید تراشه

انواعEtching درCباسنMتولیدPراس

این مقاله به طور خلاصه به معرفی دو روش اچینگ در فرآیند تولید تراشه می‌پردازد، اچینگ (Etch) یک مرحله نسبتاً مهم در فرآیند ساخت تراشه است.

اچینگ به طور عمده به اچ خشک و اچ مرطوب تقسیم می شود.

① اچ کردن خشک

پلاسما برای حذف مواد ناخواسته استفاده می شود.

②اچینگ مرطوب

مایعات خورنده برای حذف مواد ناخواسته استفاده می شود.

1 حکاکی خشک

روش اچینگ خشک:

① کندوپاش و آسیاب پرتو یونی

②پلاسما اچینگ

③ اچ پلاسما با فشار بالا

④ اچ پلاسما با چگالی بالا (HDP).

⑤ اچ یون واکنشی (RIE)

مانند اچ شیمیایی، بسیار انتخابی است و فقط موادی را با ترکیب مورد نظر اچ می کند. بسیار ناهمسانگرد است و در یک جهت از دهانه ماسک شروع می شود. مکانیسمی که به این امر دست می یابد، مبتنی بر استفاده از ذرات پر انرژی برای فعال کردن واکنش مواد شیمیایی با سطوح است. همانطور که در شکل نشان داده شده است، یون ها در پلاسما تولید می شوند و به سمت سطح و دهانه های ماسک شتاب می گیرند. پلاسما همچنین مواد خنثی بسیار واکنش پذیری تولید می کند که توسط میدان الکتریکی شتاب نمی گیرند و بنابراین در هیچ جهت مطلوبی به سطح می رسند. هنگامی که هر دو یون و خنثی وجود دارند، یعنی در قسمت افقی سطح (به عنوان مثال، در پایین یک گودال حکاکی شده)، یک واکنش بسیار انتخابی فعال می شود و ماده مورد نظر حذف می شود.

ما لاینرهای اچ مانند زیر داریم:

0040-79913 لاینر کاتد، پورت بررسی نشتی، 300 میلی‌متر

0040-79912 درگاه بررسی چروک محفظه لاینر، 300 میلی‌متر Emax

0040-34866 حلقه ماگ کاتدی لاینر

2 حکاکی مرطوب

حکاکی مرطوب طیف گسترده ای از کاربردها در فرآیندهای نیمه هادی دارد: پرداخت، تمیز کردن، خوردگی. حکاکی مرطوب یک فرآیند شیمیایی است که شامل حذف انتخابی مواد از ویفر با استفاده از اچانت مایع است. این اچ ها معمولاً از انواع مختلفی از مواد شیمیایی مانند اسیدها، بازها یا حلال ها ساخته می شوند که با مواد واکنش می دهند و محصولات محلول را تشکیل می دهند که به راحتی قابل شستشو هستند. فرآیند اچینگ توسط یک واکنش شیمیایی در سطح مشترک ماده و اچانت انجام می شود و سرعت اچ توسط سینتیک واکنش و غلظت گونه های فعال در محلول تعیین می شود.

مزایا عبارتند از: گزینش پذیری خوب، تکرارپذیری خوب، راندمان تولید بالا، تجهیزات ساده و هزینه کم

معایب آن عبارتند از: نمی توان از آن برای اندازه های کوچک استفاده کرد. مقدار زیادی زباله شیمیایی تولید خواهد شد.