دو قانون برای اطلاع از آبکاری ویفر

برای انجام یک کار خوب در آبکاری ویفر ، باید دو قانون اساسی معرفی شود ، یعنی اولین قانون الکترولیز فارادی و قانون دوم الکترولیز فارادی.

0020-27113 حلقه گیره 6 smf ti

قانون الکترولیز فارادی یک قانون تجربی است که توسط مایکل فارادی از طریق آزمایش های بیشماری در نیمه اول قرن نوزدهم به دست آمده و در سال 1834 منتشر شده است. قانون الکترولیز فارادی برای فرآیند ردوکس همه واکنشهای الکترود کاربرد دارد و قانون اساسی کمیت در واکنشهای الکتروشیمیایی است.

اولین قانون الکترولیز فارادی
در طول الکترولیز ، جرم مواد رسوب شده بر روی الکترود به طور مستقیم با میزان برق عبور از الکترولیت متناسب است. عبارات ماتماتیک:

M: جرم ماده رسوب شده یا حل شده (G). K: معادل الکترولیز (G/C) ؛ س: برق (کولوم ، ج) ؛ من: فعلی (الف) ؛ T: زمان برق (های).

از نظر لیمن:

هرچه پوشش ضخیم تر باشد ، مقدار برق مورد نیاز برای عبور از آن بیشتر می شود. اگر جریان پایدار باشد ، زمان آبکاری طولانی تر ، پوشش ضخیم تر است. می توان از آن برای کنترل ضخامت آبکاری ، میزان رسوب و غیره استفاده کرد.

0020-21361 حلقه بستن 6 "آل ژاپن بزرگ

قانون دوم الکترولیز فارادی
تحت عمل همان برق ، جرم بارش مواد مختلف به طور مستقیم با معادل شیمیایی آنها متناسب است.
عبارات ریاضی:

M1 ، M2: جرم مواد مختلف ؛ E1 ، E2: معادل شیمیایی مربوطه (یعنی جرم مولر / تعداد بار).

برای خلاصه کردن دو قانون فوق ، می توانیم دریافت کنیم:

n=تعداد خال های ماده حاصل [mol] ؛ q=کل شارژ [c] ؛ Z=تعداد نقل و انتقالات الکترون در محصول ؛ f=faraday ثابت 96 485 [c mol - 1].

0020-25279 8 "حلقه گیره

قانون الکترولیز فارادی برای چیست؟
1. جرم ماده رسوب یا حل شده بر روی الکترود را محاسبه کنید.

پیش بینی ضخامت آبکاری ؛

طراحی زمان و جریان آبکاری ؛

راندمان آبکاری را محاسبه کنید.