هدف اسپاتر

٪7b٪7b0٪7d٪7d GAS BOX EC WXZ

0040-09095 جعبه گاز، Wcvd

 

در فناوری پوشش کندوپاش مگنترون، اهمیت اهداف کندوپاش بدیهی است. به عنوان یک جزء کلیدی، نوع مواد، خلوص و وضعیت سطح آن تأثیر مستقیم و عمیقی بر عملکرد فیلم دارد. انتخاب دقیق هدف مناسب یک پیش نیاز ضروری برای ساخت لایه نازک با کارایی بالا است.
I. هدف مناسب را با دقت انتخاب کنید

1. انتخاب هدف با توجه به الزامات برنامه
انتخاب ماده مورد نظر دلخواه نیست، اما دقیقاً حول الزامات کاربردی و الزامات عملکرد فیلم می چرخد. در میان مواد هدف غنی و متنوع، فلزات، آلیاژها، سرامیک ها و ترکیبات ویژگی های خاص خود را دارند و سناریوهای کاربردی متفاوتی دارند.
1.1 اهداف فلزی
با رسانایی و بازتاب خوب، اهداف فلزی جایگاه مهمی در تهیه فیلم های رسانا و فیلم های بازتابی دارند. به عنوان مثال، در صنعت الکترونیک اغلب از اهداف مسی برای تهیه مدارهای رسانا استفاده می شود، زیرا ساختار الکترونیکی فلزات نسبتاً ساده است و به راحتی می توان الکترون های آزاد را تشکیل داد، بنابراین رسانایی عالی دارد. اهداف نقره ای به طور گسترده در تولید فیلم های بازتابنده استفاده می شود و انعکاس بالای آنها نقش اساسی در زمینه اپتیک دارد که می توان از آنها برای ساخت آینه و بازتابنده های نوری استفاده کرد.
1.2 اهداف سرامیکی و ترکیبی
اهداف سرامیکی و ترکیبی نقش کلیدی در تهیه فیلم های عایق و نوری دارند. اهداف سرامیکی مانند آلومینا، اکسید سیلیکون و غیره دارای عایق بالا و پایداری شیمیایی خوبی هستند که می تواند الزامات سخت افزاری دستگاه های الکترونیکی را برای عملکرد عایق برآورده کند. در زمینه اپتیک از اهداف ترکیبی مانند اکسید روی، اکسید تیتانیوم و ... می توان برای تهیه لایه های نازک با خواص نوری خاص مانند پوشش های ضد انعکاس، پوشش های ضد انعکاس و ... استفاده کرد. ساختار شبکه و الکترونیک ساختار این اهداف عملکرد منحصر به فرد آنها را از نظر خواص نوری و الکتریکی تعیین می کند.

2.ساختار شبکه، ساختار الکترونیکی و پایداری شیمیایی را در نظر بگیرید
ساختار شبکه، ساختار الکترونیکی و پایداری شیمیایی فاکتورهای کلیدی هستند که هنگام انتخاب مواد هدف باید در نظر گرفته شوند.
2.1 تأثیر ساختار شبکه
ساختار شبکه حالت رشد و کیفیت تبلور فیلم را تعیین می کند. هنگامی که ساختار شبکه هدف با مواد زیرلایه مطابقت دارد، لایه به راحتی با رشد همپایی تشکیل می‌شود و در نتیجه فیلم‌های کریستالی با کیفیت بالا ایجاد می‌شود. به عنوان مثال، در صنعت نیمه هادی، اهداف سیلیکونی اغلب برای تهیه فیلم های سیلیکونی همپایه بر روی بسترهای سیلیکونی استفاده می شود تا از تطابق شبکه خوب بین فیلم و بستر اطمینان حاصل شود و عملکرد دستگاه بهبود یابد.
2.2 نقش ساختار الکترونیکی
ساختار الکترونیکی بر خواص الکتریکی فیلم تأثیر می گذارد. مواد هدف مختلف ساختارهای الکترونیکی متفاوتی دارند، بنابراین انواع رسانایی و خواص رسانایی متفاوتی از خود نشان می‌دهند. اهداف فلزی معمولا الکترون های آزاد دارند و رسانایی الکتریکی خوبی از خود نشان می دهند. با این حال، ساختار الکترونیکی اهداف نیمه هادی پیچیده است و هدایت آنها را می توان با دوپینگ کنترل کرد.
2.3 اهمیت پایداری شیمیایی
پایداری شیمیایی یک شاخص مهم برای اندازه گیری اینکه آیا ماده هدف می تواند عملکرد پایدار را در محیط های مختلف حفظ کند یا خیر است. برای برخی از فیلم‌هایی که در محیط‌های خشن استفاده می‌شوند، مانند فیلم‌های مقاوم در برابر خوردگی، فیلم‌های مقاوم در برابر دمای بالا و غیره، انتخاب مواد هدف با پایداری شیمیایی بالا ضروری است. به عنوان مثال، در زمینه هوافضا، اهداف آلیاژ تیتانیوم اغلب برای تهیه فیلم های مقاوم در برابر خوردگی در دمای بالا برای محافظت از اجزای حیاتی هواپیما استفاده می شود.
II,تأثیر خلوص هدف: معاوضه بین عملکرد و هزینه
1.مزایای اهداف با خلوص بالا
خلوص ماده مورد نظر تأثیر قابل توجهی بر ترکیب شیمیایی و خواص فیلم دارد. اهداف با خلوص بالا میزان ناخالصی های فیلم را کاهش می دهند که به نوبه خود پایداری شیمیایی و خواص الکتریکی فیلم را بهبود می بخشد.
در صنعت الکترونیک، وجود ناخالصی‌ها می‌تواند منجر به افزایش مقاومت فیلم رسانا، کاهش عملکرد و قابلیت اطمینان دستگاه شود. اهداف فلزی با خلوص بالا را می توان برای تولید فیلم های رسانا با مقاومت کم برای رفع نیازهای دستگاه های الکترونیکی با کارایی بالا استفاده کرد. به طور مشابه، در صنعت نیمه هادی، وجود ناخالصی ها می تواند بر خواص الکتریکی و نوری لایه های نازک تأثیر بگذارد و حتی منجر به خرابی دستگاه شود. از اهداف نیمه هادی با خلوص بالا می توان برای تولید فیلم های نیمه هادی با کیفیت بالا استفاده کرد و عملکرد و پایداری دستگاه ها را بهبود بخشید.
علاوه بر این، اهداف با خلوص بالا می توانند پایداری شیمیایی فیلم را بهبود بخشند. وجود ناخالصی ممکن است باعث شود فیلم در یک محیط خاص واکنش شیمیایی ایجاد کند و عمر فیلم را کاهش دهد. اهداف با خلوص بالا وقوع این واکنش شیمیایی را کاهش می دهند و طول عمر فیلم را افزایش می دهند.

2.یک مبادله منطقی بین خلوص و هزینه

با این حال، خلوص بیش از حد نیز می تواند منجر به افزایش هزینه های هدف شود. در کاربردهای عملی، لازم است که رابطه بین خلوص و هزینه مواد مورد نظر با فرض برآورده کردن الزامات عملکرد فیلم به طور منطقی سنجیده شود. برای برخی از کاربردها با الزامات عملکرد بسیار بالا، مانند دستگاه های الکترونیکی پیشرفته، ساخت نیمه هادی و غیره، ممکن است به اهداف با خلوص بالا نیاز باشد. اگرچه هزینه بالا است، الزامات عملکردی برای لایه های نازک در این زمینه ها بسیار سختگیرانه است و اهداف با خلوص بالا کلید تضمین کیفیت محصول هستند. برای برخی از زمینه‌های کاربردی با الزامات عملکرد نسبتاً پایین، مانند فیلم‌های تزئینی معمولی، فیلم‌های محافظ و غیره، الزامات خلوص هدف را می‌توان به طور مناسب کاهش داد تا هزینه‌ها کاهش یابد. در این مناطق، الزامات عملکرد برای فیلم نسبتاً آرام است و محتوای ناخالصی مناسب ممکن است تأثیر قابل توجهی بر عملکرد محصول در حال استفاده نداشته باشد.

سوم,تأثیر وضعیت سطح هدف: کلید تضمین کیفیت بالای فیلم

1.اهمیت نظافت و صاف بودن
تمیزی و صاف بودن سطح هدف تاثیر بسزایی در رشد و عملکرد فیلم دارد. ناخالصی ها و عیوب روی سطح هدف می تواند باعث ایجاد نقص در فیلم شود که به نوبه خود می تواند بر یکنواختی و چسبندگی فیلم تأثیر بگذارد.
1.1 تأثیر پاکیزگی
سطح تمیز هدف یک فرآیند کندوپاشی پایدار و ثابت را تضمین می کند. اگر روی سطح هدف ناخالصی هایی مانند روغن، گرد و غبار و غیره وجود داشته باشد، ممکن است این ناخالصی ها در طی فرآیند کندوپاش پاشیده شده و در فیلم مخلوط شوند و در نتیجه کیفیت فیلم کاهش یابد. علاوه بر این، ناخالصی ها ممکن است انرژی و جهت اتم های پراکنده شده را تحت تأثیر قرار دهند، روند رشد فیلم را مختل کنند و بر یکنواختی و کیفیت تبلور فیلم تأثیر بگذارند.
1.2 نقش مسطح بودن
سطح صاف هدف رشد یکنواخت فیلم را تسهیل می کند. اگر یک نقص ناهموار در سطح هدف وجود داشته باشد، سرعت رسوب اتم های پراکنده شده در مکان های مختلف متفاوت است و در نتیجه ضخامت لایه ناهموار می شود. علاوه بر این، سطوح هدف ناهموار ممکن است بر زاویه تابش و توزیع انرژی اتم‌های پراکنده تأثیر بگذارد و در نتیجه تفاوت‌هایی در خواص فیلم ایجاد شود.

روش های تمیز کردن و جابجایی دقیق
برای اطمینان از کیفیت بالای فیلم، سطح هدف باید قبل از کندوپاش به شدت تمیز و درمان شود.
2.1 روش تمیز کردن
روش های معمول تمیز کردن شامل تمیز کردن مکانیکی، شیمیایی و پلاسما است. تمیز کردن مکانیکی می تواند ذرات بزرگ ناخالصی ها و کثیفی های سطح هدف را از بین ببرد، اما برخی ناخالصی های کوچک ممکن است به طور کامل حذف نشوند. تمیز کردن شیمیایی از انحلال معرف های شیمیایی برای حذف ناخالصی ها مانند لکه های روغن و اکسیدهای روی سطح ماده مورد نظر استفاده می کند. پاکسازی پلاسما از عمل فعال پلاسما برای حذف آلاینده ها و جاذب های آلی روی سطح هدف استفاده می کند و در عین حال می تواند سطح هدف را برای بهبود چسبندگی فیلم نیز فعال کند.

2.2 درمان سطحی
پس از تمیز کردن، سطح هدف نیز قابل درمان است، مانند پولیش، پوشش و غیره، پولیش می تواند سطح هدف را صاف و صاف تر کند و یکنواختی فیلم را بهبود بخشد. این پوشش یک لایه محافظ بر روی سطح هدف تشکیل می دهد تا از اکسید شدن یا آلودگی در طول کندوپاش جلوگیری کند و همچنین ثبات و قوام فرآیند کندوپاش را بهبود می بخشد.