توضیح دانش نیمه هادی: دانش PVD 30 سوال

01

هدف چیست؟

پاسخ: در PVD هدف یک ماده فلزی است که برای تهیه فیلم استفاده می شود.

02

اصل فرآیند PVD چیست؟

پاسخ: علاوه بر اختلاف پتانسیل بالا بین هدف و ویفر، گاز فرآیند Ar تحت اختلاف سطح بالا به Ar تفکیک می شود و سپس Ar به طور مثبت توسط میدان الکتریکی جذب شده و با هدف برخورد می کند، به طوری که دانه های فلزی تولید شده توسط هدف در اثر گرانش به ویفر می افتند تا لایه ای تشکیل دهند، این فرآیند PVD است.

.

03

جنس سیم فلزی عمومی در نیمه هادی ها چیست؟

پاسخ: سیم تنگستن (W) / سیم آلومینیوم (Al) / سیم مسی(مس).

04

چه نوع فیلم های فلزی را می توان در PVD به دست آورد؟

پاسخ: آلومینیوم (AL)، تیتانیوم (Ti)، نیترید تیتانیوم (TiN)، کبالت (Co). به طور کلی، هنگامی که ویفر وارد دستگاه PVD می شود، باید با تیتانیوم / نیترید تیتانیوم / آلومینیوم / تیتانیوم / نیترید تیتانیوم آبکاری شود. فلز پنج لایه، کبالت به عنوان سیلیسید عمل می کند.

05

عملکرد تیتانیوم (Ti) چیست؟

پاسخ: مقاومت تماس فلزی را کاهش دهید.

06

عملکرد نیترید تیتانیوم (TiN) چیست؟

پاسخ: (1) به عنوان یک لایه مانع انتشار، انتشار بین آلومینیوم و اکسید سیلیکون را مسدود می کند. (2) به عنوان یک لایه چسب، تنگستن و اکسید سیلیکون به خوبی نمی چسبند و افزودن نیترید تیتانیوم بین این دو می تواند چسبندگی را به یکدیگر افزایش دهد. (3) به عنوان یک لایه ARC، یک لایه ضد انعکاس برای کاهش انعکاس بالا از آلومینیوم به منظور دستیابی به وضوح بالا در فرآیند تصویربرداری ریز مورد نیاز است.اتاق TINظرفی است که فرآیند در آن رخ می دهد.

07

بعد از اینکه محفظه برای مدتی در حالت آماده به کار است، چرا باید Dummy را انجام دهید؟

پاسخ: پس از مدتی که محفظه در حالت آماده به کار است، وضعیت محفظه (خلاء، دما) کمی تغییر می کند. اگر ساختگی را انجام ندهید، چند قطعه اول محصول تحت تأثیر قرار می گیرد. به طور کلی، مهندس فرآیند قوانین زمان آماده به کار را با توجه به وضعیت واقعی فرموله می کند و سپس اپراتور تولید کننده غرفه را در پوشش محفظه قرار می دهد (دستورالعمل آن شبیه به دستور محصول است). پس از DUMMY، شرایط محفظه به سطح عادی باز می گردد، بنابراین می توانید با خیالی آسوده تولید کنید.

08

چرا باید مقدار کمی مس به هدف آلومینیومی اضافه کنم؟

پاسخ: هنگامی که جریان در لایه فلزی آلومینیوم حرکت می کند، اتم های آلومینیوم در امتداد فصل مشترک دانه حرکت می کنند، اگر این پدیده خیلی تیز باشد باعث شکستن سیم فلزی می شود، افزودن مقدار کمی مس می تواند از سیم آلومینیوم جلوگیری کند. شکستن

09

از آنجایی که افزودن مس می تواند از ریزش آلومینیوم جلوگیری کند، چرا فقط 0.5٪ اضافه کنید؟

پاسخ: مس زیاد باعث اشکال در اچ می شود (کلرید مس فرار نیست).

10

چرا اهداف PVD باید خنک شوند؟

پاسخ: از بالا بودن دمای سطح هدف خودداری کنید که باعث پدیده تبخیر می شود و کیفیت فیلم فلزی را ناپایدار می کند.

11

چرا وقتی دستگاه باید از آب خنک کننده استفاده کند، کنترل خلوص آب ضروری است؟

A: از پوسته پوسته شدن یا عایق شدن جلوگیری کنید.

12

چرا خطوط گاز فرآیندی باید گرم شوند؟

پاسخ: از متراکم شدن گاز فرآیند به مایع جلوگیری کنید که بر روی فرآیند تأثیر می گذارد.

13

PM چیست؟ چرا ابزارها به PM نیاز دارند؟

پاسخ: PM تعمیر و نگهداری پیشگیرانه است و اقدامات مربوط به تعمیر و نگهداری یا جایگزینی برای قطعات مربوطه (قطعات یدکی) دستگاه مطابق با چرخه انجام می شود تا پایداری عملکرد دستگاه حفظ شود و از کاهش بازده فرآیند جلوگیری شود. ، و عمر دستگاه و قطعات را افزایش می دهد.

طبق برنامه، می توان آن را به نگهداری ماهانه، تعمیر و نگهداری سه ماهه و نگهداری سالانه تقسیم کرد.

با توجه به تعداد ویفرها برای نگهداری کمیت است.

14

چرا یک مهندس هنگام انجام PM باید بخاری را تا دمای مناسب خنک کند؟

A: برای ایمنی مهندسین و ماشین آلات.

15

چرا وقتی مهندس PM انجام می دهد، اتاق باید پخته شود؟

الف: به منظور خروج گاز، از ورود گازهای ناخالص به فیلم و تاثیر بر فرآیند جلوگیری کنید.

16

PVD و W-CVD چه نقشی در تولید آی سی دارند؟

الف: آلومینیوم و تنگستن لایه‌های فلزی هستند و سیم‌هایی که دستگاه و بسته را به هم متصل می‌کنند مسیری را بین آن‌ها تشکیل می‌دهند تا جریان بدون مانع جریان یابد.

17

Bake out چیست؟

پاسخ: وقتی مهندس PM انجام می دهد، وقتی محفظه باز می شود، داخل محفظه در معرض اتمسفر قرار می گیرد و وقتی مهندس PM را تمام می کند، باید یک پخت انجام دهد، محفظه را گرم کند و مولکول های آب را دور کند. و سایر گازهای متصل به داخل، به طوری که سطح خلاء را افزایش دهد.

18

گاز مورد استفاده در فرآیند PVD چیست؟

جواب: N2 در مقابل ار. 

19

هدف N2 و Ar در فرآیند PVD چیست؟

پاسخ: پس از یونیزه شدن Ar توسط الکترون ها، گلوله ای که به هدف تبدیل می شود به هدف برخورد می کند و اتم های TARGET را روی ویفر فرو می ریزد و هدف N2 نیترید کردن اتم های سطح هدف است.

20

چرا از Ar به عنوان منبع گاز برای کندوپاش PVD استفاده کنیم؟

پاسخ: (1) گاز بلانت، آسان به تغییرات شیمیایی نیست. (2) جرم سنگین (AMU 40)، اثر پاشیدن خوب. (3) قیمت ارزان است.

21

فشار فرآیند PVD چقدر است؟

A: 2 تا 20 mTorr.

22

پروژه ماشین اندازه گیری PVD: چرا؟

A: شاخص بازتاب، ضخامت، ورق مقاومت، ذرات، یکنواختی.

23

چرا دستگاه از هلیوم برای تشخیص نشت استفاده می کند؟

پاسخ: (1) مقدار هلیوم در جو بسیار کم است، بنابراین از محاسبه اشتباه خودداری کنید. (2) هلیم دارای نفوذپذیری قوی است و به راحتی نشت را تشخیص می دهد. (3) هلیوم یک گاز بلانت است که ایجاد آلودگی یا خوردگی آسان نیست.

24.در فرآیند PVD، چرا باید قبل از پوشش، لایه اکسید اصلی را حذف کنم؟

پاسخ: لایه اصلی اکسید از قبل جدا می شود تا مقاومت بین لایه های فلزی خیلی زیاد نباشد و چسبندگی بین فیلم و بستر افزایش یابد.

25. چرا PVD از برق DC استفاده می کند؟

پاسخ: با استفاده از برق DC همراه با مقدار معینی آرگون (گاز Ar)، پلاسما (پلاسما) در محفظه خلاء تشکیل می شود. یون‌های موجود در فلز یونی به هدف برخورد می‌کنند و اتم‌های هدف را روی ویفر می‌کوبند و یک لایه فلزی تشکیل می‌دهند.

26.چرا ماشین ها باید از آب خنک کننده استفاده کنند؟

پاسخ: برای جلوگیری از بالا رفتن دما و آسیب رساندن به دستگاه، دما را کنترل کنید.

27.کیت فرآیند چیست؟

پاسخ: در داخل محفظه یک سپر تشکیل می شود و روکش می تواند مانع از آبکاری پوشش در داخل محفظه شود و هر بار که PM شد می توان آن را برای تمیز کردن یا تعویض جدا کرد.0020-40946 حلقه گیره، 8 اینچی SNNF، AL,0020-27113 حلقه گیره 6 SMF TI,0020-24896 حلقه روکش 6 اینچی SST 101 AL,0020-28205 6" حلقه روکش TI,0021-35946 حلقه لبه، TXZ، 200 میلی‌متر، SNNFهمه قطعات فلزی کیت های فرآیند هستند.0200-00221 عایق کوارتز، 8 دقیقهو0200-00218 Cover Top Quartz 8" PCIIقطعات کوارتز کیت های فرآیند هستند.

28. چرا پمپ خلاء خشن باید به جای نوع روغنی از نوع خشک استفاده کند؟

پاسخ: از برگشت روغن به دستگاه جلوگیری کنید.

29

چند پمپ خلاء برای PVD استفاده می شود؟

پاسخ: خلاء خشن از فشار اتمسفر به 5 mTorr برای خلاء خشن و پمپ کرایو از 5 mTorr به 10E{3}} Torr برای خلاء بالا پمپ می شود.

30 چگونه می توانم در فرآیند 30PVD خلاء بالایی داشته باشم؟

پاسخ: از پمپ خلاء بالا استفاده کنید.