سیستم گاز تجهیزات اچ

مرحله اچینگ مستلزم استفاده از انواع گازهای اچینگ است که به عنوان محیط فرآیند در فرآیند واکنش نیز شناخته می شوند. سیستم گاز تجهیزات اچینگ وظیفه انتقال محیط فرآیند از منبع گاز به داخل محفظه واکنش را بر عهده دارد که عمدتا از یک جعبه گاز (Gasbox)، یک صفحه همگن کننده (Gaspanel)، یک جریان سنج تشکیل شده است. (MFC) و یک خط لوله.

عملکرد جعبه گاز این است که فشار محیط فرآیند گازی را از منبع گاز (سیلندر گاز مخصوص یا خط لوله گاز ویفر فاب) از طریق انواع شیرهای کنترلی تنظیم کرده و سپس آن را وارد خط لوله مسیر گاز می کند. تجهیزات حکاکی از آنجایی که بیشتر گازهای مورد استفاده در ساخت مدارهای مجتمع خطرناک هستند، به منظور اطمینان از ایمنی، معمولاً کابینت جعبه مدار گاز را با روکش ضد خوردگی می پوشانند و یک پنجره دید خارجی تعبیه می شود و داخل آن نیز تعبیه می شود. در حالت فشار منفی بعلاوه جعبه گاز مجهز به انواع سیستم های مانیتورینگ است که به محض تشخیص نشت گاز، انتقال گاز را فورا قطع کرده و هشدار می دهد. Gaspanel یکی از اجزای اصلی سیستم گاز است و همچنین یک قطعه فلزی نیمه هادی است که پردازش آن دشوار است. دیسک همگن کننده معمولاً از چهار لایه دیسک فلزی تشکیل شده است که هر کدام دارای سوراخ های کوچک و مسیرهای پیچیده و کوچک هوا هستند. پس از اینکه گاز اچینگ توسط جعبه مسیر گاز تنظیم شد، وارد خط لوله شده و سپس از سینی همگن کننده عبور کرده و در نهایت با سرعت ثابت و یکنواخت به محفظه واکنش منتقل می شود. دیسک همگن کننده باید دارای ویژگی های مقاومت در برابر دمای بالا، آلودگی ذرات کم و مقاومت در برابر خوردگی باشد و برای جلوگیری از نشت داخلی باید از روش های خاصی برای جوش بین دیسک های فلزی چند لایه استفاده شود. از آنجایی که دیسک همگن کننده مربوط به مرحله ورودی هوای هسته حکاکی است، برخی از شرکت های تجهیزاتی برای توسعه و تولید دیسک های همگن کننده، همکاری با شرکت های پردازش فلزات دقیق را انتخاب می کنند. علاوه بر این، شیرهای فوجیکین در ژاپن نیز از تولیدکنندگان مهم دیسک یکنواخت هستند.

تجهیزات اچینگ از یک جریان سنج جرمی (MFC) برای نظارت و کنترل سرعت ورود گازهای اچینگ به محفظه واکنش استفاده می کنند. از آنجایی که نرخ ورودی هوا با پایداری واکنش اچینگ مرتبط است، تجهیزات اچینگ دارای الزامات بالایی برای محدوده جریان، دقت کنترل و زمان پاسخ پایداری جریان جریان سنج جرمی هستند. فلومترها را می توان به نوع مدار آنالوگ، نوع مدار دیجیتال و نوع جبران تغییر فشار تقسیم کرد. فلومتر جبران تغییر فشار می تواند به طور خودکار نوسان فشار منبع گاز را جبران کند تا از جریان پایدار خروجی گاز به محفظه واکنش اطمینان حاصل کند. سازنده اصلی دبی سنج های جرمی هوریبا در ژاپن است.