آیا برآمدگی‌ها و ترک‌های فیلم در اثر همین نوع استرس ایجاد می‌شوند؟

0010-21827 8" Shield Assy

 

0021-35869 سر دوش

انواع تنش ها چیست و انواع مختلف تنش ها چه نوع مشکلات فیلمی می توانند ایجاد کنند؟انواع استرس های داخلی

تنش های داخلی طبقه بندی های زیادی دارد که اگر آنها را بر اساس اثر عمل تقسیم کنیم، می توان آنها را به تنش فشاری و تنش کششی تقسیم کرد.
همانطور که در شکل بالا نشان داده شده است، تنش فشاری نیروی فشاری لایه فیلم توسط زیرلایه است و لایه فیلم تمایل به جمع شدن دارد. تنش کششی نیروی کششی لایه فیلم توسط زیرلایه است و فیلم تمایل به انبساط دارد.
دلایل برآمدگی و ترک فیلم چیست؟

همانطور که در شکل بالا نشان داده شده است، اثر تنش فشاری، لایه فیلم در اثر تنش فشاری فشرده می‌شود، فاصله بین اتم‌ها یا مولکول‌ها کاهش می‌یابد، و زمانی که تنش بیش از حد بزرگ است، مولکول‌ها یا اتم‌های غرق شده انتخاب می‌کنند که در جهت‌های دیگر توسعه یابند. که از نظر ماکروسکوپی به صورت یک برآمدگی تپه مانند ظاهر می شود.

همانطور که در شکل بالا نشان داده شده است، اثر تنش کششی، فیلم کشیده می شود، فاصله بین اتم ها یا مولکول ها افزایش می یابد، زمانی که تنش بیش از حد بزرگ است، فضای خالی بین مولکول ها یا اتم ها را نمی توان تکمیل کرد، که به صورت ماکروسکوپی آشکار می شود. کرک شدن فیلم
استرس داخلی چه مشکلات دیگری می تواند ایجاد کند؟
تنش فشاری: تاب برداشتن ویفر، حباب فیلم و غیره
تنش کششی: تاب برداشتن ویفر، لایه برداری فیلم و غیره